전 세계 반도체 자동이송시스템 특허출원이 최근 10년(’12년~’21년) 사이 연평균 10.2% 증가하고 있는 가운데, 한국은 연평균 32.1% 증가해 가장 빠르게 성장하고 있는 것으로 나타났다.

반도체 자동이송시스템(AMHS, Automated Material Handling System)은 반도체 제조라인에서 웨이퍼를 적재한 웨이퍼 저장용기(FOUP, Front Opening Unified Pod)를 자동 이송하기 위한 시스템 전체를 의미한다. 먼지와 진동을 최소한으로 줄이면서 최대한 빠른 속도로 웨이퍼 저장용기를 이송하고 병목현상 없이 적시에 웨이퍼가 공정장치에 이송되도록 제어하는 것이 그 핵심기술이다.

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